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Vacuum electrode flange
CF真空射频贯穿法兰
射频贯穿法兰设计用于传输用于感应加热的射频功率。
可提供高达 35kW 的额定功率和高达 13.56MHz 的频率。
采用不易受射频耦合影响的非磁性材料
电压(千伏):8;10
Power (KW):10;20;35
Frequency :450kHZ;13.56MHZ
导体形式: TUBE
导体材料:铜
法兰安装:CF16\CF35
绝缘体材料:氧化铝陶瓷
可提供2D\3D模型,接受非标定制,如有需求可咨询销售工程师。
备注:
当并排安装两个 35kW/13.56MHz 射频馈通时,它们的中心距必须大于 2.00 英寸。必须在贯通件周围硬件之间留出足够的间隙,以避免功率耦合。
标注的技术相关参数会受到各种条件制约,如材料特性、机械设计操作环境等。
所有电气额定值均基于一侧在干燥大气环境中,另一侧在< 1 x 10 -4 Torr 的真空环境中运行。
所有3D模型以及我们型录中显示或列出的任何尺寸均不包括制造公差,仅供参考。
Size parameters
Product Features
CF真空射频贯穿法兰
射频贯穿法兰设计用于传输用于感应加热的射频功率。
可提供高达 35kW 的额定功率和高达 13.56MHz 的频率。
采用不易受射频耦合影响的非磁性材料
电压(千伏):8;10
Power (KW):10;20;35
Frequency :450kHZ;13.56MHZ
导体形式: TUBE
导体材料:铜
法兰安装:CF16\CF35
绝缘体材料:氧化铝陶瓷
可提供2D\3D模型,接受非标定制,如有需求可咨询销售工程师。
备注:
当并排安装两个 35kW/13.56MHz 射频馈通时,它们的中心距必须大于 2.00 英寸。必须在贯通件周围硬件之间留出足够的间隙,以避免功率耦合。
标注的技术相关参数会受到各种条件制约,如材料特性、机械设计操作环境等。
所有电气额定值均基于一侧在干燥大气环境中,另一侧在< 1 x 10 -4 Torr 的真空环境中运行。
所有3D模型以及我们型录中显示或列出的任何尺寸均不包括制造公差,仅供参考。