三片式NC一体加工耐高温真空球阀产品详情

       真空阀指的是用在真空系统中的阀门，其作用通常为隔离真空区域（如工艺腔室） 或控制气体进出量。由于真空环境基本贯穿半导体制造过程始终，因此真空阀在 半导体设备中也有着普遍而广泛的应用。真空阀和普通阀门在类型上没有本质区别，按作用划分主要有隔离阀、控制阀 （调节阀）、传输阀、泄压阀/排气阀、气体计量阀、止回阀等，在半导体设备的 真空系统中尤其是隔离阀、控制阀、传输阀应用较多。

       球阀的启闭件是带有圆形通道的球体，绕垂直于通道的轴线旋转，球体随阀杆转动从而达到启闭通道的目的。球阀适用的压力范围广，从高真空到低真空 等均可使用，同时在带有腐蚀性介质的或者高温的系统中也均可适用。

产品特性：

阀体一体式精密加工而成，专为MOCVD等高温设备设计型号。

特殊内部结构设计，拥有自清洁功能，有效防止物料沉积。

从而保证清洁的动态密封，防止因污染而导致故障。

泄漏率:≤1x10-9 std. cc/sec. He.

阀体材质:SUS316L。

阀芯密封材质:PTFE 。

温度范围：-25℃~≤205°C的间歇烘烤

模块化设计，方便维护。

阀体带有定位锁，方便定位。

比同类阀门更的大流导CV值设计，可做临时样品窗使用。

提供内螺纹 NPT、KF 法兰以及插焊等多种接口方式。

可提供手动气动两种驱动方式。

标准维护套件可以轻松维护阀门

可提供2D\3D模型，接受非标定制。如有需求可咨询销售工程师。

注意：球阀在初始操作时可能转动扭矩比较大，这是正常现象。